第158章 为难啊 (第1/2页)

方程简单的将光刻机的相关技术讲解了一遍之后，有专家当场问道："方总，我们都知道，阿麦斯EUV光刻机的用到的极紫外光源材料是用的锡液滴。

我想请教一下，你们是怎么用高能激光连续两次同时击中直径仅为20微米的锡液的？"

方程摇了摇头，"我们使用的光源材料并不是锡滴液。"

专家们都有些惊讶！

"不是锡滴液？那是什么？"

方程解释说："大家都知道，锡原子核外电子被激光能量轰击后发生跃迁。

这种跃迁的电子因为不稳定回到基态，从而释放出来极紫外光。

这种方式虽然也可以获得极紫外光，可是它的能量转换效率却不高。

我们在研究中发现了可以替代它的材料，氮化铝。它的能量转换效率要高很多。"

众位专家听了纷纷低声议论起来。

方程趁着他们议论之时，走到一张实验桌上，在抽匣里取出一张晶圆，拿到刘部长面前，"刘部，这是我们上次的测试晶圆。

这张12英寸，奥，也就是直径30.48厘米的晶圆，它的表面积大约为平方毫米。

按照现在的制程，这张晶圆在理论上可以切割出大约640块芯片。

考虑到良品率的问题，风车国的阿麦斯光刻机，大概能获得500块良品芯片。但我们的光刻机却能获得560块芯片。

所以说，在良品率上讲，我们的技术是要领先于他们的。"

大家听了忍不住都将目光投向了那张晶圆。

李部长轻轻从方程手中将这张薄薄的晶圆接过来，看了良久后，不由地感叹，"就是这样一张小小的东西，却让我们在国际市场上举步维艰。

现在有了它，我们的腰杆子才更硬了，说话的底气更足了！"

他看着方程，郑重其事地道："方总，这张晶圆能不能送给我们？我们想把它带到京城去，让它走进我们的科技展览馆。"

"李部，这只是一张试验品…"

李部长却道："在你的眼中，它只是一张试验品，但在国家的眼中，它代表的可是我们科技的力量。"

方程点了点头，神情严肃，"

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